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大口径主镜薄膜制备及其特性研究

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大口径主镜薄膜制备及其特性研究
论文目录
 
摘要第1-6页
abstract第6-16页
第1章 绪论第16-36页
  1.1 研究背景第16-17页
  1.2 大口径主镜膜系的国内外研究现状第17-24页
  1.3 大口径主镜银反射膜制备的相关问题第24-34页
    1.3.1 金属银膜的光学性质及其制备第24-27页
    1.3.2 银反射镜的环境稳定性第27-32页
    1.3.3 薄膜厚度分布均匀性的修正第32-34页
  1.4 本论文主要研究内容第34-36页
第2章 磁控溅射制备大口径主镜银反射镜工艺研究第36-58页
  2.1 引言第36-37页
  2.2 磁控溅射制备银反射镜工艺参数优化第37-43页
    2.2.1 实验样品制备第37-38页
    2.2.2 单层膜工艺参数优化第38-42页
    2.2.3 多层膜样品实验制备第42-43页
  2.3 银反射镜反射率偏低原因分析第43-49页
    2.3.1 银反射镜样品微观结构分析第43-45页
    2.3.2 银反射镜样品的元素分析第45-49页
  2.4 N_2/Ar混合溅射银靶制备持久性银反射镜第49-57页
    2.4.1 N_2/Ar混合溅射制备单层银膜第49-53页
    2.4.2 N_2对银反射镜样品性能的影响第53-57页
  2.5 本章小结第57-58页
第3章 银反射镜膜层厚度优化及环境稳定性研究第58-92页
  3.1 引言第58-59页
  3.2 实验第59-61页
    3.2.1 薄膜样品制备第59页
    3.2.2 加速环境实验第59-60页
    3.2.3 样品特性表征第60-61页
  3.3 NiCrN_x过渡层厚度优化第61-70页
    3.3.1 光学性质第61-63页
    3.3.2 湿热试验第63-67页
    3.3.3 盐雾试验第67-70页
  3.4 SiN_x保护层厚度优化第70-80页
    3.4.1 光学性质第71-73页
    3.4.2 湿热试验第73-76页
    3.4.3 盐雾试验第76-80页
  3.5 银基膜系的腐蚀机理第80-84页
    3.5.1 单层银膜的腐蚀特征第81页
    3.5.2 四层结构银反射镜的腐蚀机理第81-84页
  3.6 SiN_x的环境稳定性第84-89页
    3.6.1 厚SiN_x薄膜的环境稳定性第85页
    3.6.2 薄SiN_x薄膜的环境稳定性第85-89页
  3.7 本章小结第89-92页
第4章 大口径磁控溅射镀膜机膜厚均匀性分析第92-108页
  4.1 引言第92-93页
  4.2 磁控溅射膜厚分布理论基础第93-94页
  4.3 磁控溅射膜厚分布的理论计算模型第94-99页
  4.4 Deimos5500磁控溅射镀膜机均匀性分析第99-106页
    4.4.1 无修正挡板时不同曲率光学元件的膜厚均匀性分析第100-102页
    4.4.2 修正挡板校正平面主镜薄膜厚度均匀性第102-105页
    4.4.3 曲面主镜的膜厚分布校正第105-106页
  4.5 本章小结第106-108页
第5章 逆向热蒸发制备大口径主镜银反射镜第108-130页
  5.1 引言第108-109页
  5.2 实验第109-117页
    5.2.1 ZZS3200高真空镀膜机结构第109-110页
    5.2.2 膜系设计第110-112页
    5.2.3 逆向热蒸发制备银膜第112-115页
    5.2.4 银反射镜的制备第115-116页
    5.2.5 薄膜样品的测试第116-117页
  5.3 银加介质保护反射镜的实验结果分析第117-122页
    5.3.1 薄膜样品的光谱特性第117-118页
    5.3.2 薄膜样品的剖面形貌第118-119页
    5.3.3 薄膜样品的环境稳定性第119-121页
    5.3.4 Ф500mm口径银反射镜样品镀制第121-122页
  5.4 银加介质增强膜系的可行性研究第122-129页
    5.4.1 材料选择第122-123页
    5.4.2 CeF_3与ZnS介质增强膜堆第123-124页
    5.4.3 LaF_3与ZnS介质增强膜堆第124-125页
    5.4.4 SiO_x与ZnS介质增强膜堆第125-129页
  5.5 本章小结第129-130页
第6章 总结与展望第130-134页
  6.1 论文主要工作第130-131页
  6.2 论文创新点第131-132页
  6.3 存在的问题和对后续工作的建议第132-134页
参考文献第134-148页
致谢第148-150页
作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果第150页

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