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基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测

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基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测
论文目录
 
摘要第1-5页
abstract第5-15页
第1章 绪论第15-25页
  1.1 研究背景第15页
  1.2 国内外研究进展第15-21页
    1.2.1 非光学检测方法第16-18页
      1.2.1.1 机械探针法第16-17页
      1.2.1.2 原子力显微镜(AFM)第17页
      1.2.1.3 扫描隧道显微镜(STM)第17-18页
    1.2.2 光学检测方法第18-21页
      1.2.2.1 激光共聚焦扫描显微镜第18-19页
      1.2.2.2 数字全息技术第19页
      1.2.2.3 结构光投影显微技术第19-20页
      1.2.2.4 白光显微干涉术第20-21页
  1.3 本论文的研究内容第21-22页
  1.4 论文结构安排第22-25页
第2章 白光显微干涉技术第25-37页
  2.1 引言第25页
  2.2 白光显微干涉原理第25-27页
  2.3 基于白光干涉的三维形貌恢复算法第27-32页
    2.3.1 重心法第27-28页
    2.3.2 傅立叶变换算法第28-29页
    2.3.3 希尔伯特变换算法第29页
    2.3.4 小波变换算法第29-30页
    2.3.5 空间频域算法第30-31页
    2.3.6 移相法第31-32页
  2.4 白光显微干涉技术面临的问题和挑战第32-35页
    2.4.1 面临问题挑战一第33-34页
    2.4.2 面临问题挑战二第34页
    2.4.3 面临问题挑战三第34-35页
  2.5 本章小结第35-37页
第3章 基于白光显微干涉术的时域调制度反演算法第37-61页
  3.1 引言第37页
  3.2 宽光谱显微干涉理论模型第37-39页
  3.3 时域调制度反演三维形貌算法第39-43页
    3.3.1 时域调制度分布理论第39-40页
    3.3.2 时域调制度提取方法及三维形貌反演过程第40-43页
  3.4 时域调制度重建三维形貌结果分析第43-51页
    3.4.1 时域调制度提取方法及三维形貌反演过程第43-46页
    3.4.2 基于调制度算法的实验结果第46-51页
  3.5 基于时域调制度的混合干涉重建算法第51-58页
    3.5.1 混合干涉模拟分析第52-54页
    3.5.2 混合干涉法表面形貌重建实验结果第54-58页
  3.6 本章小结第58-61页
第4章 白光显微干涉纵向相位拼接算法第61-79页
  4.1 引言第61页
  4.2 傅立叶变换法相位拼接解析第61-67页
    4.2.1 傅立叶变换调制度阈值判断第61-64页
    4.2.2 连续相位纵向拼接算法第64-67页
  4.3 相移法相位拼接第67-68页
  4.4 实验系统搭建第68-72页
  4.5 实验结果及数据分析第72-77页
  4.6 本章小结第77-79页
第5章 基于介质微球的三维形貌超分辨重建技术研究第79-111页
  5.1 引言第79-82页
  5.2 介质微球聚焦仿真分析第82-88页
  5.3 介质微球二维超分辨成像质量增强研究第88-104页
    5.3.1 不同浸没深度对微球成像的影响第88-99页
    5.3.2 基于暗场显微模式的介质微球成像第99-104页
  5.4 基于介质微球的宽光谱干涉三维超分辨形貌检测第104-109页
    5.4.1 基于介质微球的Mirau型干涉实验系统第104-106页
    5.4.2 超分辨三维形貌检测实验结果及分析第106-109页
  5.5 本章小结第109-111页
第6章 总结与展望第111-115页
  6.1 全文总结第111-112页
  6.2 论文创新点第112页
  6.3 论文展望第112-115页
参考文献第115-123页
致谢第123-125页
作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果第125-128页

本篇论文共128页,点击这进入下载页面
 
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