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掺杂氧化锌薄膜在新型显示的澳门美高梅真人娱乐官网研究

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掺杂氧化锌薄膜在新型显示的澳门美高梅真人娱乐官网研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第一章 绪论第11-24页
  1.1 信息显示技术第11页
  1.2 新型显示技术第11-19页
    1.2.1 薄膜晶体管第12-17页
    1.2.2 透明导电薄膜第17-19页
  1.3 掺杂氧化锌体系的研究进展第19-22页
    1.3.1 氧化锌的基本性质第19-20页
    1.3.2 镁掺杂氧化锌第20-21页
    1.3.3 锡掺杂氧化锌第21页
    1.3.4 其它掺杂体系氧化锌第21-22页
  1.4 我们的工作内容和意义第22-24页
第二章 实验设备、原理、器件制备以及性能表征第24-30页
  2.1 引言第24页
  2.2 薄膜制备第24-27页
    2.2.1 物理气相沉积第24-25页
    2.2.2 化学气相沉积第25页
    2.2.3 原子层沉积第25-26页
    2.2.4 溶液加工法第26-27页
  2.3 表征方法第27-30页
    2.3.1 薄膜厚度第27-28页
    2.3.2 薄膜表面形貌及成分分析第28页
    2.3.3 薄膜光学及电学性能第28-29页
    2.3.4 稳定性第29页
    2.3.5 薄膜晶体管性能表征第29-30页
第三章 溶液法ZTO在背沟道刻蚀薄膜晶体管的澳门美高梅真人娱乐官网第30-53页
  3.1 引言第30-31页
  3.2 薄膜及器件制备第31-33页
    3.2.1 ZTO薄膜制备第31-32页
    3.2.2 BCE结构MOTFT的制备第32-33页
  3.3 不同比例锡掺杂对薄膜晶体管的影响第33-36页
    3.3.1 TFT器件基本性能第33-34页
    3.3.2 不同比例ZTO薄膜表征第34-35页
    3.3.3 Mo/ZTO/a-IZO的接触电阻第35页
    3.3.4 背沟道结构a-IZO TFT的稳定性第35-36页
  3.4 不同固化温度对薄膜晶体管性能影响第36-41页
    3.4.1 短沟道效应第37-38页
    3.4.2 不同固化温度下偏压稳定性的分析第38-40页
    3.4.3 ZTO薄膜分析第40-41页
  3.5 ZTO薄膜抗刻蚀机理分析第41-42页
  3.6 ZTO薄膜在不同有源层体系下的澳门美高梅真人娱乐官网第42-44页
  3.7 ZTO对薄膜晶体管稳定性影响的机理分析第44-46页
  3.8 钝化层沉积对薄膜晶体管影响第46-48页
  3.9 背沟道刻蚀薄膜晶体管在AMOLED的澳门美高梅真人娱乐官网第48-52页
    3.9.1 AMOLED基本结构第48-49页
    3.9.2 驱动背板工艺路线第49-50页
    3.9.3 MOTFT版图设计第50-51页
    3.9.4 AMOLED单色显示屏第51-52页
  3.10 本章小结第52-53页
第四章 掺杂氧化锌与银纳米线复合柔性透明导电薄膜第53-69页
  4.1 柔性透明导电薄膜的简介第53-54页
  4.2 掺杂氧化锌与银纳米线复合透明导电薄膜的制备第54-55页
    4.2.1 银纳米线透明导电薄膜的制备第54页
    4.2.2 掺杂氧化锌薄膜的制备第54-55页
  4.3 银纳米线透明导电薄膜基本性能第55-56页
  4.4 铝掺杂氧化锌对复合透明导电薄膜的影响第56-57页
  4.5 镁掺杂氧化锌对复合透明导电薄膜的影响第57-65页
    4.5.1 AgNW/ZMO薄膜的光学特性和电学特性第58-59页
    4.5.2 AgNW/ZMO薄膜的耐温性能第59-60页
    4.5.3 AgNW/ZMO薄膜的稳定性第60页
    4.5.4 AgNW/ZMO薄膜的弯折性能第60-62页
    4.5.5 AgNW/ZMO的性能分析第62-65页
  4.6 透明导电薄膜在OLED器件的澳门美高梅真人娱乐官网第65-66页
  4.7 溶液法ZTO图形化银纳米线透明导电薄膜第66-68页
  4.8 本章小结第68-69页
结论第69-71页
参考文献第71-81页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第81-83页
致谢第83-84页
附件第84页

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